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全氟橡胶在半导体场中的应用

Aug 02, 2023 留言

全能橡胶(FFKM)是一种出色的密封材料。由于其出色的性能,它在整个过程中发现了广泛使用半导体制造系统。产生集成电路所需的主要消耗品之一是全荧光密封环。

全氟橡胶中的主要单体是四氟乙烯和全氟烷基乙烯基醚,它们与少量的带有硫化点的第三个单体共聚。这是一个根本不包含c - h键的橡胶。其分子结构的氟含量,全氟乙烯基醚的结构和含量以及硫化过程中交联键的键能和数量都会影响硫化化合物的性能和玻璃过渡温度。结构和组件是不同的,其性能也是如此。以下是全氟橡胶的主要性能特征:

Semiconductor-seal

1)物理特性:密度为1.9-2.0g/cm3,物理和机械性能类似于荧光纤维,高温压缩组优于氟化器。

2)耐化学性:它具有化学耐药性。

3)对高温和低温的抗性:工作温度通常为260-290度,但可以在316度时间歇使用。一些全氟橡胶的TG(玻璃过渡温度)为-19度。

4)对高-温度蒸汽的电阻。

5)低降水量和释放。

6)对等离子体的抗性。

semiconductor seal

它在血浆环境中具有很高的清洁度和低降水产品特性,并且可以长期承受血浆撞击。这弹性体垫圈的可靠性对于半导体制造至关重要,停止生产以取代垫圈的成本非常高。密封的清洁度和纯度的要求非常严格,以避免潜在的风险。同时,海豹必须能够在高真空,腐蚀性化学气体和高温环境的压力下长时间工作。

全氟橡胶原材料很昂贵,通常用于半导体制造。它具有对等离子体腐蚀,气体腐蚀,酸和碱腐蚀,高温腐蚀,橡胶密封件高清洁度要求的耐药性,有助于维持密封的完整性,减少维护时间并提高安全性,并且是半导体制造材料的最佳密封。